470 000 ₽
Длина волны источника света: 365 нм (источник света — УФ светодиоды).
Интенсивность оптического излучения источника света: 20 — 130 мВт/см2.
Время экспонирования установки: 0.1 — 9999 сек.
Дискретность уставки времени: 0.1 сек.
Максимальный диаметр образца для экспонирования: 76 мм (3 дюйма).
Стол для экспонирования может быть увеличен (опция).
Размер минимального элемента изображения на образце при экспонировании не более 1 мкм;
Суммарная масса установки не превышает 20 кг.
Лабораторный блок питания QJ5003T – 1 шт.
Блок управления и измерения – 1 шт.
Система позиционирования – 1 шт.
Источник УФ излучения – 1 шт.
Руководство пользователя на русском языке — 1 шт.
Паспорт оборудования на русском языке — 1 шт.
ФП–383 (производитель ФГУП «ГНЦ «НИОПИК») /Microposit S1811 G2 (производитель Micro resist technology GmbH)
Толщина фоторезиста 1.2 мкм.
Центрифугирование на EZ4 spin coater 3000 об/мин, 60 с.
Нагрев 112 ± 3 °C, 90 с.
Доза экспонирования 140 мДж/см2.
Проявление ПП-051МС производитель ФГУП «ГНЦ «НИОПИК», 20 – 45 с.
ФП–4-04 (производитель ООО «ФРАСТ-М») /Microposit S1813 G2 (производитель Micro resist technology GmbH)
Толщина фоторезиста 1.5 мкм.
Центрифугирование на EZ4 spin coater 3000 об/мин, 60 с.
Нагрев 112 ± 3 °C, 60 с.
Доза экспонирования 150 мДж/см2.
Проявление ПП-051МС производитель ФГУП «ГНЦ «НИОПИК», 20 – 45 с.
ФН–16У-4 (производитель ФГУП «ГНЦ «НИОПИК») /AZ nLOF 2035 (производитель MicroChemicals)
Толщина фоторезиста 3.5 мкм.
Центрифугирование на EZ4 spin coater 3000 об/мин, 60 с.
Нагрев 112 ± 3 °C, 60с.
Доза экспонирования 120 мДж/см2.
Проявление ПП-051МС производитель ФГУП «ГНЦ «НИОПИК», 20 – 45 с.
Отзывы
Отзывов пока нет.